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    産業機械 Industrial machinery

    液晶?半導體

    液晶?半導體用の検査?プロセス機器?コンベア/搬送裝置を取り扱っています。

    上海星藤機械有限公司では、最新の技術を取り入れた、液晶?半導體用の製造?検査裝置を取扱っております。また?ガラス基板搬送用のエアー浮上式コンベア、ウェハ用のロボット?搬送裝置など、お客様に様々なシステムをご提案していきます。

    取扱品目

    項目名 ウェーハ用クリーンロボット、6インチ~8インチ用マクロ/ミクロ検査裝置、ウェーハローダー裝置
    メーカー名 アテル社、日本
    説明文 2インチ~12インチまでのシリコン半導體、及び化合物半導體に対応したロボットを提供します。また、小型のウェーハ用のマクロミクロ検査裝置を開発しました。また、特殊ウェーハの搬送として、薄型ウェーハ搬送、反りウェーハ搬送、非接觸搬送など特殊搬送に対応しています。
    項目名 靜電塗布裝置
    メーカー名 エンジニアリングシステム社、日本
    説明文 従來のインクジェット/ディスペンサーで限界だった數ミクロンレベルの微細な直描デザインが可能です。樹脂材料の吐出に最適な靜電誘引方式(Q-jet技術)を採用し、10,000cps以上の高粘度材料や、配線材料として注目を集める金屬ナノペースト材料による安定描畫を可能にします。
    直描からスプレーモードへの切換は、簡単なプロセスパラメーターの切換だけで、二流體方式のスプレーとは比較にならない微細な液滴を均一に分散させます。MEMS等の高段差デバイスへのコンフォーマルな塗布が可能です。
    項目名 露光裝置(ステッパー露光裝置)
    メーカー名 目白プレシジョン社、日本
    説明文 微細パターン用ステッパー露光裝置と、レンズ方式の広範囲一括露光裝置です。テレセントリックな投影レンズを有しており、高精細用レンズ(0.5μmL/S)から一括露光裝置レンズ(最大200mmφ、3.5μmL/S)まで幅広い投影レンズの組み合わせができます。しかも、露光するパターンにより、レンズN/A可変機能を使用することで、焦點深度の調整した露光が可能です。また、お客様のニーズに合わせて、マスクチェンジャー、ウェーハローダーユニットなど、ご予算に合わせたシステム構成が可能です。
    項目名 自動マクロ検査裝置、300mmウェーハ用マクロミクロ検査裝置
    メーカー名 イオカ精密社、日本
    説明文 自動マクロ検査裝置は、5インチから12インチウェーハサイズに対応した、自動欠陥マクロ検査裝置です。パターンのデフォーカス、スクラッチ、パーティクル、ムラ、パターンムラなどの検出が、高分解能(Z軸分解能2nmから3nm)、高タクト検査が可能です。また、透明フイルム機材の薄膜ムラ検査も可能です。
    また、マクロミクロ検査裝置は、顕微鏡、干渉計を搭載したシステムになり、目視のマクロ検査機能も可能です。
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